F2-Ar-Ne

氟氩氖混合气是由三种气体以一定比例混合而成的，分别是氟气、氩气和氖气。这种混合气也被称为Fluoro-Argon-Neon混合气，化学名称为F-Ar-Ne混合气。其中，Fluoro指氟气，Argon指氩气，Neon指氖气。

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氟氩氖是一种特种电子气体混合物，主要由具有强腐蚀性的氟气（F₂）和作为稀释剂的惰性气体氩气（Ar）、氖气（Ne）组成。它主要应用于半导体芯片制造和平板显示器生产中的高端工艺，特别是用于等离子体刻蚀和化学气相沉积（CVD）腔室的清洗，能精确地移除或雕刻微观电路结构，是高端制造业不可或缺的关键材料。

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