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2025年公司取得GIGAPHOTON光刻气认证

岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司于2025年5月13日收到日本GIGAPHOTON株式会社（以下简称“GIGAPHOTON”）合格供应商认证函，凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）通过了GIGAPHOTON的合格供应商认证。公司光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）通过GIGAPHOTON的合格供应商认证，是GIGAPHOTON对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可，也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。本次认证通过有利于公司提高在光刻气领域内的认可度和知名度，对公司拓展光刻气产品销售业务具有积极作用。

05-31

2025

2023年公司取得ASML光刻气认证

湖南凯美特气体股份有限公司（以下简称“公司”）控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司（以下简称“凯美特电子特种气体公司”）于2023年2月2日收到ASML子公司Cymer公司发来的合格供应商认证函，凯美特电子特种气体公司生产的光刻气产品通过了Cymer公司审查，Cymer公司已将凯美特电子特种气体公司光刻气产品列入合格供应商名单。ASML子公司Cymer是世界领先的准分子激光源提供商，是深紫外技术的行业领导者，是ASML集团内一家独立运营的企业。Cymer公司发明了如今半导体制造中最关键的光刻技术所需的深紫外（DUV）光源，开发、制造和服务深紫外（DUV）光源。产品组合包括使用氟化氩（ArF）或氟化氪（KrF）气体产生深紫外光的准分子激光器。产品主要特性是：带宽窄，运行速度高，可靠性强。Cymer光源在批量生产符合特定规格的世上最先进的半导体芯片时起着决定性的作用。公司光刻气产品通过Cymer公司的合格供应商认证，是Cymer公司对公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量的认可，也是公司先进的产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等各方面综合实力、竞争优势的体现。本次认证通过有利于公司提高在光刻气领域内的认可度和知名度，使公司的电子特气产品走向国际化，对公司拓展光刻气产品销售业务具有积极作用。

02-02

2023

2021年公司取得COHERENT产品认证

湖南凯美特气体股份有限公司（以下简称“公司”）控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司（以下简称“凯美特电子特种气体公司”）生产的用于ExciStar激光器的193nm激光混配气已在Coherent（相干）德国公司设备上经过了测试，并于2021年9月24日收到Coherent（相干）公司发来的针对以上激光混配气产品通过其测试结果的确认函。Coherent（相干）公司对凯美特电子特种气体公司准分子激光气体产品的测试结果证明了公司准分子激光气体的产品质量以及在电子特种气体领域的钢瓶内壁处理技术的能力，含氟ppm级别多组分气体混配以及气体分析等综合实力已达到国际一流水平，有利于树立公司在电子特种气体行业的高品质形象，准分子激光气体可广泛应用于医疗、光刻、OLED显示等行业，对于公司未来批量销售电子特种气体产品具有积极意义。公司目前为全球为数不多的具备完整准分子激光气体生产及分析能力的气体企业。

09-24

2021

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