为半导体光刻工艺提供关键气体支撑
发布时间：
2026-02-28
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在半导体制造的无尘车间里，光刻机以极高的精度在硅片上勾勒出纳米级的电路图案。这一过程依赖的深紫外光刻技术，离不开一种关键介质——准分子激光气。它如同光刻工艺的"隐形伙伴"，为芯片制造提供着稳定的光源支撑。
岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司，正是这一领域的重要参与者。
深耕电子特气，服务高端制造
岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司成立于2018年，位于湖南省岳阳市岳阳楼区七里山，注册资本8000万元，是一家专注于电子特种气体研发与生产的企业。公司依托股东方的产业布局和技术积累，致力于向电子及特种气体领域延伸，建设具备一定影响力的电子特种气体研发和生产基地。
公司投资建设的电子特种气体项目，采用深冷精馏、物理化学吸附等技术和设备，规划建设25套电子特种气体和混配气体生产加工装置。其中一期项目已建成12套生产及辅助装置，产品线覆盖氖气（5N）、氦气（6N）、氪气（5N）、氙气（5N/6N）、氢气（6N）、二氧化碳（7N）、一氧化碳（5N）、氮气（6N）、氩气（6N）等高纯气体，以及氯化氢基激光混配气、氟基准分子激光混配气和其他动态激光混配气等。
核心产品：为准分子激光"量身定制"
准分子激光气是公司产品矩阵中的重要组成部分，业内通常称为光刻气或镭射气体。这类气体主要包括氪气（Kr）、氩气（Ar）、氙气（Xe）等惰性气体与氟（F₂）、氯（Cl₂）等卤素气体的精确混合，在电激发下产生特定波长的紫外光。
ArF准分子激光（193nm）：用于先进制程的光刻工艺，是深紫外光刻的核心光源
KrF准分子激光（248nm）：广泛应用于成熟制程的芯片制造和掩模加工
XeCl准分子激光（308nm）：除工业加工外，在医疗等领域也有应用
这些混合气体的纯度和配比精度，直接影响光刻分辨率和芯片良率。公司依托先进的生产和分析检测能力，确保产品杂质控制和组分稳定性满足半导体制造的工艺要求。
获得国际认证，进入全球供应链
2025年5月，岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司收到日本GIGAPHOTON株式会社合格供应商认证函，公司生产的光刻气产品（Kr/Ne、Ar/Ne/Xe）正式通过GIGAPHOTON的合格供应商认证，证书有效期至2030年4月24日。
GIGAPHOTON是半导体光刻用准分子激光机、其他用途准分子激光机以及极紫外光刻（EUV）的开发商和制造商，作为全球主要的曝光准分子激光机制造商，在亚洲和欧美市场拥有广泛的客户基础。
此次认证的通过，体现了公司在光刻气生产领域的生产能力、产品质量获得国际主流设备厂商的认可，也是公司产品生产技术、钢瓶内壁处理技术、气体分析技术等方面综合实力的体现。这一认证有利于公司提高在光刻气领域的影响力，为拓展光刻气产品销售业务创造条件。
从"用气"到"服务"：提供定制化解决方案
随着半导体工艺向更先进节点演进，晶圆制造对电子特气的需求呈现多样化、定制化趋势。岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司不仅提供标准规格的激光混合气，还可根据客户的具体工艺需求，开发定制化的混配气体方案。
公司具备电子级钢瓶处理能力和高纯气体分析能力，从气体纯化、混配到充装、检测，形成较为完整的技术闭环。这种一体化服务模式，有助于下游客户优化供应链管理，提升产线运行的稳定性。
行业价值：助力国产供应链稳步发展
近年来，国内电子特气市场规模持续增长。据统计，2024年国内电子气体企业销售收入达到196亿元，比上年增长12.6%。半导体制造环节对气体供应链的自主可控提出更高要求。
作为布局在湖南的电子特气生产企业，岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司特通过持续的技术投入和产能建设，为本土半导体、显示面板等领域提供重要的材料支撑。公司准分子激光气体产品已进入海外准分子激光设备厂家的供应名录，有望逐步实现国产替代。
光刻工艺的精度，影响芯片的性能表现；而准分子激光气的品质，关系光刻机的稳定输出。岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司将持续深耕电子特气领域，以可靠的产品和技术服务，助力半导体产业的高质量发展。
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