氟氮混合气

氟氮混合气是以氟气与氮气按一定比例配制而成的特种混合电子气体。常温下为淡黄色气体，带有刺激性气味，化学性质活泼，兼具氟气的强氧化性与氮气的稀释稳定作用。氮气可有效降低氟气活性，提升使用安全性，同时保留其蚀刻、清洗等核心性能。该气体属于高危腐蚀性化学品，广泛应用于半导体行业，主要用于腔体清洗、晶圆蚀刻、薄膜处理等工艺。产品对纯度与配比要求严苛，储运及操作需使用专用耐腐设备，全程严格遵守安全规范。

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