三氯化硼混合气

三氯化硼混合气是将高纯度三氯化硼与载体气体（如氩气、氮气）按特定比例精确配制而成的特种电子气体。

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三氯化硼混合气是将高纯度三氯化硼与载体气体（如氩气、氮气）按特定比例精确配制而成的特种电子气体。

该气体的核心应用在于其作为P型掺杂剂。在半导体制造工艺中，特别是离子注入环节，三氯化硼混合气被用于精确地向硅晶圆中引入硼原子，从而改变并控制特定区域的电导率，形成必需的P型半导体结构。

因此，三氯化硼混合气是集成电路制造过程中实现精密掺杂、决定器件性能的关键工艺材料之一。

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